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OTF-1200X-II-4CV-PE-SL-UL 滑動式雙溫區PECVD系統

應用范圍：OTF-1200X-II-4CV-PE-SL 是一款滑動式雙溫區PECVD 管式爐系統。該系統包含500W等離子源, 80Dx1600L mm 滑動式雙溫區管式爐, 4通道質量流量供氣系統和機械泵機組，這款 PECVD系統可用于生長納米或石墨烯。

產品型號：OTF-1200X-II-4CV-PE-SL

上架時間：2019-07-04

安裝尺寸：爐體: 550 x 380 x 520 mm

滑軌: 1750 mm 長

移動架: 1200 x 1200 x 600mm

重量：220 Lbs

A^-A⁺

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OTF-1200X-II-4CV-PE-SL 是一款滑動式雙溫區PECVD 管式爐系統。該系統包含500W等離子源, 80Dx1600L mm 滑動式雙溫區管式爐, 4通道質量流量供氣系統和機械泵機組，這款 PECVD系統可用于生長納米或石墨烯。

性能指標和基本配置
設備型號	OTF-1200X-50-II-4CV-PE-SL-UL OTF-1200X-80-II-4CV-PE-SL-UL OTF-1200X-130-III-4CV-PE-SL-UL
爐管尺寸	2" (50mm) OD x 1.7" ID x 71" L 3.14" (80mm) OD x 2.83" ID x 71'' L 5" (130mm) OD x 4.8" ID x 84'' L
產品特點	●與傳統的CVD相比，只需較低的制備溫度 ● 滑軌式可快速加熱和快速冷卻 ● 兩個加熱區，溫度梯度最大可達 200oC ● 最高工作溫度1100°C ● 提供一個寬范圍的材料制備，如碳和 ZnO 納米管或納米線以及單層石墨烯。 ● 內爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命
等離子發射源	● 輸出功率:5 -500W ± 1% . ● 射頻頻率:13.56 MHz ±0.005% . ● 反射功率:最大 200W ● 匹配:自動 ● 射頻接口:50 Ω, N-type ● 噪音:<50 dB ● 冷卻: 風冷. ● 電源:AC 208-240V, 50/60Hz
真空泵機組	● 我公司有多種真空泵可選，請點擊圖片，或是致電我公司銷售。 ● KFD25 快接，不銹鋼波紋管，手動擋板閥與法蘭，真空泵相連. ● 管內真空可達10E-2 Torr ● 防腐型真空計( 美國) 安裝在左法蘭上. 本公司進口的防腐型數字式真空顯示計，其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數轉換。（點擊圖片查看詳細介紹）
質量流量計	四個精密的質量流量計(精度0.02% ) ： ● 數字顯示，自動控制. ● MFC 1范圍: 0~100 sccm ● MFC 2和3: 0~200 sccm ● MFC 4范圍: 0~500 sccm ● 一個混氣罐，底部裝有泄廢液口. ● 4 個不銹鋼針閥安裝在供氣系統的左側，可手動控制4種氣體. ● 進氣口: 4個1/4NPS. ● 出氣口: 4個 1/4NPS.
控溫軟件	● 計算機可以通過控溫軟件控制爐子：RS485 接口和軟件是免費的，但需要購買數據線和一個控制模塊 ● 為了獲得較大的升溫速度, 必須預熱到設定溫度，然后將爐子滑到樣品位置。 ● 為了獲得較快的降溫速度,可將加熱的爐子從熱區滑到冷區.
外形尺寸	● 爐體: 550 x 380 x 520 mm ● 滑軌: 1750 mm 長 ● 移動架: 1200 x 1200 x 600mm.
重量	● 凈重: 220 Lbs. ● 運輸重量: 500lbs.
開門斷電	● 為保證使用安全，該電爐為開門斷電設計
應用注意事項	●爐管內氣壓不可高于0.02MPa ●由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全 ●當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態，爐管內的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態 ●進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 ●石英管的長時間使用溫度＜1100℃ ●對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數，若氣壓表示數大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發生（如爐管破裂，法蘭飛出等）
國家專利	專利名稱：可組合式等離子增強化學氣相沉積裝置專利編號：ZL-2011-2-0355777.1 尊重創新、鄙視抄襲、侵權必究
質量認證	所有電器元件（>24V）都通過UL?/?MET?/?CSA認證/ CE認證，若客戶出認證費用，本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CAS認證
保修期	一年保修，終身技術支持。特別提示： 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。點擊查看售后服務承諾書。

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