應用范圍:OTF-1200X-III-R5-PECVD是一款1200℃等離子增強化學氣相沉積三溫區回轉管式爐系統(R-PECVD),等離子增強系統的引入可在相對較低的溫度下實現粉末表面的包覆復合、核殼結構制備等工藝過程。自動進出料系統可實現連續生產,可保證在氣氛保護環境下進行粉體的進給以及收集,包含射頻電源(帶自動匹配功能)、4通道質子流量計控制系統以及真空泵系統,可由PLC觸摸屏或者PC電腦控制,使用方便快捷。
產品型號 :OTF-1200X-III-R5-PECVD
上架時間 :2019-07-04
安裝尺寸:爐體:2800mm L x 800mm W x 1700mm H
供氣系統:600mmL x 700mm W x 700mm H
重量:180kg
OTF-1200X-III-R5-PECVD是一款1200℃等離子增強化學氣相沉積三溫區回轉管式爐系統(R-PECVD),等離子增強系統的引入可在相對較低的溫度下實現粉末表面的包覆復合、核殼結構制備等工藝過程。自動進出料系統可實現連續生產,可保證在氣氛保護環境下進行粉體的進給以及收集,包含射頻電源(帶自動匹配功能)、4通道質子流量計控制系統以及真空泵系統,可由PLC觸摸屏或者PC電腦控制,使用方便快捷。
性能指標和基本配置 | ||
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結構特點 |
● 爐體可在0 ~ 25°內傾斜有利于粉末樣品的裝卸 |
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三溫區回轉爐 |
● 最高溫度:1200oC(< 1h) 連續工作溫度:1100℃ |
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等離子射頻電源 |
● 輸出功率:5-300W可調(穩定性:±1%) |
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石英管 | ||
密封法蘭 |
● 一對不銹鋼快接法蘭(法蘭上安裝有KF25真空接頭) |
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旋轉速度 |
2-10rpm可調 |
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爐體可傾斜角度 |
0~30° |
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真空泵及真空表 |
● EQ-YTP-550雙級真空泵包含在設備中,請點擊圖片了解詳細參數 |
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4通道質子流量計控制系統 |
4通道質子流量計控制系統可實現氣體流量的精確控制(精確度:±0.02%) |
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容積式進料器 |
● EQ-PF-1S是一款容積式自動喂料器,包含一電動攪拌器以及帶有振動裝置的不銹鋼料斗。可實現固體粉料的自動化喂料,從而實現固態粉料的連續式燒結/熱處理 |
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溫度控制 |
● 2個溫區分別由2個獨立的溫控系統控制 |
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產品尺寸 |
2800mm L x 800mm W x 1700mm H,供氣系統:60600mmL x 700mm W x 700mm H |
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產品重量 |
180kg |
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應用注意事項 |
●爐管內氣壓不可高于0.02MPa ●由于氣瓶內部氣壓較高,所以向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全 ●當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態,爐管內的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 ●石英管的長時間使用溫度<1100℃ ●對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,若氣壓表示數大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發生(如爐管破裂,法蘭飛出等) |
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質量認證 |
所有電器元件通過 UL / MET / CSA認證/ CE認證,如您另外付費,我們可以保證單臺儀器的TUV(UL61010)或CSA 認證 |
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保修期 |
一年保修,終身技術支持。 特別提示: 1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。 點擊查看售后服務承諾書。 |
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