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VTC-100PA 真空旋轉涂膜機

應用范圍：VTC-100PA真空旋轉涂膜機適用于半導體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機可用于強酸、強堿性涂覆溶液的涂膜制備。

產品型號：VTC-100PA

上架時間：2019-08-30

安裝尺寸：450mm×280mm×340mm

重量：20kg

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VTC-100PA真空旋轉涂膜機適用于半導體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機可用于強酸、強堿性涂覆溶液的涂膜制備。

性能指標和基本配置
主要特點	● 真空吸附方式固定樣件，操作簡便。 ● 使用定位工具可將樣件很容易地放在中心位置，以減少偏心而造成的震動或飛片。 ● 根據樣件規格可以配用不同的吸盤，且更換方便簡單。 ● 設有12組程序，每組包含6個運行階段。 ● 電機啟動快速穩定，可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。 ● 50W/24V 直流電機 ● 適于在Ar氣環境中工作（真空泵放置在手套箱外）
參數	● 電機功率：50W/24V ● 速度范圍：500-10000rpm ● 程序運行：可儲存12組程序，每組程序包含6個運行階段 ● 增減速率設置范圍：100rpm/s-2000rpm/s ● 時間范圍：0-60s ● 吸盤：Φ19mm、Φ60mm
進氣口	上蓋有一個直徑6mm的進氣口可將需要的氣體通入腔體，實現在氣氛環境下旋轉涂覆
可選加熱部分	上蓋內部增加紅外燈管加熱，采用K型熱偶測溫，數字溫控器控溫，最高120℃，可使得樣品涂覆后原位烘干，用于薄膜太陽能電池等研究。
產品尺寸	450mm×280mm×340mm；
重量	20kg
標準配件	1	真空吸盤（含O型圈）	2個
	2	中心定位器（含4個定位柱）	1個
	3	滴膠注射器（20ml）	1個
	4	注射器支架	1個
	5	AP-1400V無油真空泵	1臺
	6	橡膠管（含卡箍）	1根
可選配件	過濾器（真空泵用）
保修期	一年保修，終身技術支持。點擊查看售后服務承諾書。

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