應(yīng)用范圍:PCE-80是一款較大型的等離子清洗機(jī),等離子腔體為 8.5 "dia x 12“"L的石英腔體,采用的射頻電源功率0 - 100W連續(xù)可調(diào)節(jié)。此款設(shè)備主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物,同時也可改變物體表面的性質(zhì)(如親水和疏水性等)。對于基片的清洗以及薄膜處理此款設(shè)備是較為理想的實(shí)驗(yàn)幫手。
產(chǎn)品型號 :PCE-80
上架時間 :2019-09-03
安裝尺寸:620 L ×600 W ×600 H, mm
PCE-80是一款較大型的等離子清洗機(jī),等離子腔體為 8.5 "dia x 12“"L的石英腔體,采用的射頻電源功率0 - 100W連續(xù)可調(diào)節(jié)。此款設(shè)備主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物,同時也可改變物體表面的性質(zhì)(如親水和疏水性等)。對于基片的清洗以及薄膜處理此款設(shè)備是較為理想的實(shí)驗(yàn)幫手。
性能指標(biāo)和基本配置 | |
---|---|
主要特點(diǎn) |
● 最大射頻功率: 100 W |
射頻電源 |
● 射頻功率可在 0 - 100W之間調(diào)節(jié) |
等離子腔體 |
● 8.5" O.D x 8.2" I.D x 12.5" L 高純石英腔體 |
控制面板 |
● 通過6" 彩色觸摸屏,可控制射頻功率、真空泵的開啟、清洗時間和氣體流量等. |
真空泵(選配) |
● 儀器必須使用抽氣速率大于4L/S的真空泵 |
通入氣體 |
● 等離子腔體中可以通入多種氣體來產(chǎn)生等離子,如N2, Ar, Air,H2、O2和混合氣體等等(根據(jù)材料性質(zhì)所定) |
可選 |
● 可選購 2" - 6" 石英舟來盛放基片 |
外形尺寸 |
620 L ×600 W ×600 H, mm |
相關(guān)應(yīng)用 |
● 請自行根據(jù)您的應(yīng)用測試最佳的等離子功率 |
質(zhì)量認(rèn)證 |
CE認(rèn)證 |
保修期 |
一年保修,終身技術(shù)支持。 特別提示: 1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書。 |
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