OTF-1200X-4-Ⅲ-C9HV 高真空三溫區(qū)CVD系統(tǒng)
應(yīng)用范圍：高真空三溫區(qū)CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-Ⅲ-C9HV是由九通道質(zhì)量流量控制器和高真空機組組成的CVD系統(tǒng)，其爐管直徑為4″，最高溫度可達(dá)1200℃，極限真空可達(dá) 10-5 torr，混氣系統(tǒng)可對1-9種氣體進(jìn)行精確的混合，然后導(dǎo)入管式爐內(nèi)部，可用來研究氣體環(huán)境對材料的影響。
產(chǎn)品型號：OTF-1200X-4-Ⅲ-C9HV
上架時間：2020-04-16
重量：100kg
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高真空三溫區(qū)CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-Ⅲ-C9HV是由九通道質(zhì)量流量控制器和高真空機組組成的CVD系統(tǒng)，其爐管直徑為4″，最高溫度可達(dá)1200℃，極限真空可達(dá) 10-5 torr，混氣系統(tǒng)可對1-9種氣體進(jìn)行精確的混合，然后導(dǎo)入管式爐內(nèi)部，可用來研究氣體環(huán)境對材料的影響。
| 功能特點 |
|---|
- 爐體采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)，使得殼體表面的溫度<60℃。
- 保溫材料采用高純氧化鋁纖維，減少熱量損失，且內(nèi)膛涂有高溫氧化鋁涂層，可提高加熱效率，延長使用壽命。
- 設(shè)有三個溫區(qū)，可獨立控溫，可設(shè)置50段升降溫程序，并設(shè)有過熱和斷偶保護(hù)。
- 供氣系統(tǒng)與真空機組置于移動架內(nèi)，方便移動。
- 真空系統(tǒng)采用一鍵操作，按下“start”鍵后隔膜泵和渦輪分子泵將會啟動（隔膜泵先啟動，待真空度達(dá)到 10-2mbar后分子泵自動啟動）。
- 根據(jù)腔體內(nèi)的真空度，系統(tǒng)自動控制旋片泵的旋轉(zhuǎn)速率
- 已通過CE認(rèn)證。
| 技術(shù)參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。 | ||
| 水 | 不需要 | ||
| 電 | AC220V 50Hz，必須有良好接地 | ||
| 氣 | 設(shè)備腔室內(nèi)需充注氣體，需自備氣瓶氣源 | ||
| 工作臺 | 尺寸1600mm×600mm×700mm，承重150kg以上 | ||
| 通風(fēng)裝置 | 需要 | ||
| 管式爐 | 電源 | AC 208V-240V單相 50Hz/60Hz 7KW | |
| 爐管 | 高純石英管，外徑?100mm×內(nèi)徑?92mm×1400mm | ||
| 加熱元件 | 摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲，表面涂有氧化鋯 | ||
| 加熱區(qū) | 溫區(qū)I長220mm，溫區(qū)II長440mm，溫度III長220mm，總長880mm | ||
| 恒溫區(qū) | 500mm（三個溫區(qū)設(shè)為同一溫度時） | ||
| 工作溫度 | 最高1200℃，連續(xù)工作1100℃ | ||
| 最大升溫速率 | ≤20℃/min | ||
| 控溫精度 | ±1℃ | ||
| 熱電偶 | 3根K型熱電偶 | ||
| 高真空機組 | 輸入電源 | AC110V或AC220V可切換 50Hz/60Hz | |
| 消耗功率 | 110W | ||
| 殼體尺寸 | 600mm×600mm×700mm | ||
| 最大承重量 | 270kg | ||
| 抽氣速率 | N2-33L/s，He-39L/s，H2-32L/s | ||
| 工作范圍 | 1000mbar-<10-7mbar | ||
| 極限真空度 | 10-5torr | ||
| 數(shù)字式真空顯示計 | 10-8mbar-103mbar | ||
| 質(zhì)量流量混氣系統(tǒng) | 質(zhì)量流量計 | 9通道精密質(zhì)量流量計 | |
| 流量計范圍 | 10scc-1000scc三個，20scc-200scc三個，30scc-10scc三個 | ||
| 壓力表 | 3個，用來檢測混合氣體壓力 | ||
| 爐體尺寸 | 550mm×380mm×520mm | ||
| 高真空機組尺寸 | 600mm×600mm×700mm | ||
| 質(zhì)量流量混氣系統(tǒng)尺寸 | 600mm×600mm×700mm | ||
| 重量 | 100kg | ||
| 真空配件 | 1 | 不銹鋼真空密封法蘭 | 2個 |
| 2 | 精密針閥 | 2個 | |
| 3 | 1/4″軟管接頭 | 1個 | |
| 4 | 高溫硅膠O型密封圈（最高可承受300℃） | 6個 | |
| 5 | 氧化鋁管堵 | 1套 | |
| 6 | KF-40真空波紋管 | 1根 | |
| 7 | KF-40快速卡箍 | 3個 | |
| 8 | KF-25卡箍 | 2個 | |
| 可選配件 | 防腐型數(shù)字式真空顯示計 | ||
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