應用范圍
:UNIPOL-1203 化學機械磨拋機,適用于CMP 平坦化和平滑化工藝技術,
整機研磨部分采用防腐材料,耐化學腐蝕,配置自動滴料器和精密磨拋控制儀,全自動觸摸屏面板,從加工性能和速度上同時滿足晶圓等面型加工的需求。
產品型號
:UNIPOL-1203
上架時間
:2020-08-21
安裝尺寸:550mm×700mm×420mm
重量
:約74Kg
UNIPOL-1203 化學機械磨拋機,適用于CMP 平坦化和平滑化工藝技術, 整機研磨部分采用防腐材料,耐化學腐蝕,配置自動滴料器和精密磨拋控制儀,全自動觸摸屏面板,從加工性能和速度上同時滿足晶圓等面型加工的需求。
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