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OTF-1200X-50S-PE-SL 小型滑動PECVD管式爐系統

應用范圍：OTF-1200X-50-PE-SL是一款小型滑動開啟式PECVD系統。此套設備配有等離子射頻電源，直徑為50mm的開啟式管式爐（帶有真空法蘭和連接管道）及機械泵組成。該設備模型可更新為不同類型的PECVD 系統，且設備性價比較為理想。

產品型號：

上架時間：2020-12-09

安裝尺寸：1500mm L′600mm W′1200mm H

重量：160 kg

A^-A⁺

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OTF-1200X-50-PE-SL是一款小型滑動開啟式PECVD系統。此套設備配有等離子射頻電源，直徑為50mm的開啟式管式爐（帶有真空法蘭和連接管道）及機械泵組成。該設備模型可更新為不同類型的PECVD 系統，且設備性價比較為理想。

性能指標和基本配置

設備名稱

小型滑動PECVD管式爐系統—OTF-1200X-50S-PE-SL （2019.12.23—科晶實驗室審核）

產品特點

● 射頻電源可實現等離子增強從而顯著降低實驗溫度；
● 可通過爐體滑動達到快速升溫和降溫；
● 可通過射頻電源的頻率來控制薄膜的應力；
● 可通過工藝調節來控制化學計量；
● 可沉積各種材料，如SiOx, SiNx, SiOxNy 和(a-Si:H) 等。

加熱爐參數

● 最高溫度：1100℃（<30min）；連續工作溫度：1000℃；
● PID溫度控制器及30段可編程溫控系統，控溫精度：±1℃；
● 輸入電源：208- 240V AC，功率：1.2KW；
● 爐膛保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維，并且內爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層，可以提高加熱效率，反射率及延長儀器的使用壽命

更多參數請聯系科晶銷售部

射頻電源

● 科晶公司現有不同功率的射頻電源可供選擇，以滿足不同實驗條件的需求。

	300W射頻電源	500W射頻電源	100W射頻電源
輸出功率	0-300W可調（穩定性：±1%）	0-500W可調（穩定性：±1%）	0-100W可調（穩定性：±1%）
射頻頻率	13.56 MHz（穩定性：±0.5%）	13.56 MHz（穩定性：±0.5%）	13.56 MHz（穩定性：±0.5%）
匹配	自動匹配	自動匹配	手動匹配
噪音	＜50dB	＜50dB	＜50dB
冷卻方式	風冷	風冷	風冷
輸入電壓	AC180-250V	AC108-250V	AC110-240V
圖片

真空系統

● 采用TRP-12的雙旋真空泵；
● KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵；
● 真空度可達10-2Torr。

供氣系統

● 四通道質子流量計控制系統可實現氣體流量的精確控制（精確度：±0.02%）；
● 流量范圍:

一路	0-100 sccm
二路	0-200 sccm
三路	0-200 sccm
四路	0-500 sccm

● 電壓：208-240V， AC， 50/60Hz；
● 氣體進出口配件：6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管；
● 不銹鋼針閥用于手動控制氣體進出；
● PLC觸摸屏可以簡便地進行氣體流量設置。

產品尺寸和重量

● 尺寸：1500mm L′600mm W′1200mm H
● 凈重：160 kg
● 運輸重量：220 kg

認證

● CE認證
● 所有電器元件通過 UL / MET / CSA認證
● 如您另外付費，我們可以保證單臺儀器的TUV(UL61010)或CSA 認證

承諾

● 一年質保期，終身維護
● 特別提示：（1）耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內；
（2）因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。

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